近年、電子ビーム装置の高性能化は著しく、その反面磁界許容値は厳しくなる一方です。アクティブ磁気シールド(磁場キャンセラー)は、外乱の変動磁界を3軸磁界コントローラーで高感度に検出し、それを打ち消す磁界をXYZの3軸で構成されるヘルムホルツコイルにて発生させ、コイル内部の磁界変動を制御し、安定させるために用いる磁界発生器です。本製品を導入することにより、磁界環境が著しく不安定な場所でも電子ビーム装置の性能を十分に発揮することが可能です。
打消しコイルを装置のフレームに実装することも可能です。半導体計測・検査装置などの設置エリアを大きくとる必要がありません。
主な用途 |
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コイル設置方法は、建物埋め込み型、チャンバー内設置型、後施工(現場設置)の3通りがあります。
電子顕微鏡設置例
大型電子顕微鏡設置例
独立型 CA-4000 | 低ノイズ型 CA-3200 | |
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用途 | SEM/3Dプリンタなど | シールドルーム内 |
対応周波数 | 0Hz~1kHz | 0Hz~720Hz |
最大対応変動磁界 | 150mG(15μT) | 50mG(5μT) |
減衰率 | 最大60dB | 最大60dB |
制御範囲 | ± 150 μT | ±70μT |
センサー方式 | フラックスゲート方式(分解能:5nT) | フラックスゲート方式(分解能:1nT) |